激光腐蝕監控儀應用過(guò)電壓保護器
發(fā)布人：管理員 發(fā)布時(shí)間：2014-2-10
福建光學(xué)儀器廠(chǎng)和福建省光學(xué)技術(shù)研究所聯(lián)合研制成功FJ-1型激光腐蝕監控儀，應用過(guò)電壓保護器，最近通過(guò)了技術(shù)鑒定。該食品利用激光干涉法，在線(xiàn)****監控硅晶片表面膜或其它金屬片膜的腐蝕過(guò)程與腐蝕終點(diǎn)。由于監控過(guò)程是非接觸的，所以對硅片無(wú)破壞性。儀器結構簡(jiǎn)單、操作方便、性能穩定可靠，測量精度高，可用于腐蝕監控，也能用于等離子體刻蝕。是一種監控半導體器件、集成電器制作過(guò)程防止硅片腐蝕不足或過(guò)腐蝕的重要檢測儀器
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